計測用装置群:F9の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 低真空走査電子顕微鏡 低真空モードにおいて、熱電子線源から生じた電子線を試料に照射し、試料表面から反射した電子線を画像データとして読み込み、表面形状を観察します。このモードでの真空度は1 ...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM) この装置は、細く絞った電子線で試料表面を2次元的に走査し、その際に出てくる2次電子信号から、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。微細加工された部分の形状な...

観察

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 走査電子顕微鏡 電子銃 ZrO/W 電界放射型加速電圧 0.1-30kV2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV),1.4nm (リターディング:1.0kV)試料ステージ 5軸モーター駆動試料サイズ 最大φ6インチ...

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 透過電子顕微鏡 加速電圧、200kV、分解能:0.1nm、スポットサイズ:0.2nm、付加機能:EDX、STEM、STEM-EELS、Ion cleaner、

物質の高分解能観察が可能、例えば結晶の格子像の観察が可能、高分解の元素マッピングが可能、微細構造の観察および分析、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 走査プローブ顕微鏡 測定モード:Contact AFM、Tapping AFM、MFM、Electro chemical、STM、Liquid-phase AFM、[Scanner]:17μ/1.3μ、

多数の測定モードを有する走査プローブ顕微鏡、微細構造の観察、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) カラーレーザー顕微鏡 測定項目:Surface roughness、Height、Thickness of transparent film、

走査型の3次元レーザー顕微鏡、微細構造の観察、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) FE-SEM(S-4800)+EDX 加速電圧:0.5~30kV、最大倍率:800k、検出器:SE/BSE、

EDX付属の汎用的FE-SEM、微細構造の観察および分析、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) FE-SEM(SU8000)+EDX 加速電圧:0.5~5kV、最大倍率:800k、検出器:SE/BSE、

低加速電圧観察のできるEDX付きFE-SEM、微細構造の観察および分析、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) ミニSEM+EDX 反射電子観察、最大倍率:50000、

操作の容易なEDX付き卓上SEM、微細構造の観察および分析、

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) FE-SEM(SU8230)+EDX 冷陰極電界放出電子銃、分解能:0.8nm(15kV)、1.1nm(1kV)、追加機能:EDS、

微細加工評価・計測、

 

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