計測用装置群:F10の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 低真空走査電子顕微鏡 低真空モードにおいて、熱電子線源から生じた電子線を試料に照射し、試料表面から反射した電子線を画像データとして読み込み、表面形状を観察します。このモードでの真空度は1 ...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM) この装置は、細く絞った電子線で試料表面を2次元的に走査し、その際に出てくる2次電子信号から、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。微細加工された部分の形状な...

観察

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 走査電子顕微鏡 電子銃 ZrO/W 電界放射型加速電圧 0.1-30kV2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV),1.4nm (リターディング:1.0kV)試料ステージ 5軸モーター駆動試料サイズ 最大φ6インチ...

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 実動環境対応物理分析電子顕微鏡(JEM-ARM200F-G) 照射レンズ系、結像レンズ系のそれぞれに収差補正機能を搭載し、超高分解能(0.08nm)を実現すると共に、試料ホルダーを利用して様々な実動作環境におけるその場観察・分析・ポテ...

超高分解能TEM/STEM、EDS(Single-SDD-EDS)、EELS、電子線ホ口グラフイー、3D観察、電子線トモグラフィー、様々な環境下でのその観察(高温:1,200℃、低温:~-160℃、ガス雰囲気、光照射、バイアス印加など)。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 300kV電界放出形透過電子顕微鏡(FEI Tecnai G2 F30) 300kV透過電子顕微鏡。TEM、STEM、EDS、エネルギーフィルター、ローレンツ顕微鏡法が可能。

TEM/STEM, EDS等

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 原子識別電子顕微鏡(JEM-3100FEF) インカラムオメガフィルターおよび、EDSを備えた、300kV分析電子顕微鏡。軽元素から重元素まで、幅広い元素に対して、高分解能元素分布像の取得が可能。

インカラムオメガフィルターおよび、EDSを備えた、300kV分析電子顕微鏡。軽元素から重元素まで、幅広い元素に対して、高分解能元素分布像の取得が可能。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 冷陰極電界放出形ローレンツ顕微鏡(HF-3000L) 300kV冷陰極電界放出形電子銃を備えた、ローレンツ像観察用専用電子顕微鏡。極低温条件で磁区観察可能。通常のTEMモードで電子回折図形や明視野暗視野像の観察も可能。

ローレンツ像の観察ができます。また専用ホルダーにより、極低温条件で、ローレンツ観察が可能です。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 冷陰極電界放出形電子顕微鏡(HF-3000S) 300kV冷陰極電界放出形電子銃を備えた透過電子顕微鏡。TEM ,EELSの計測が可能。

TEM, EELS

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F1) 200kV透過電子顕微鏡。TEM、STEM、EDSが可能。電子線回折も取れるCCDカメラ装備。

200kV透過電子顕微鏡。TEM、STEM、EDSが可能。電子線回折も取れるCCDカメラ装備。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 200kv透過電子顕微鏡(JEM-2100) 200kV透過電子顕微鏡。TEM、EDSが可能。電子線回折も取れるCCDカメラ装備。

200kV透過電子顕微鏡。TEM、EDSが可能。電子線回折も取れるCCDカメラ装備。

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