計測用装置群:E9の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) 試料にイオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって深さ方向の元素分布情報を得る分析手法です。固体表面の検出感度が高く、1H...

計測

筑波大学 微細加工プラットフォーム 電界放出型走査電子顕微鏡 二次電子分解能:1.0nm (加速電圧15kV,WD=4mm) 、1.3nm (照射電圧1kV,WD=1.5mm)照射電圧:0.1~30kV低倍率モード:20~2,000倍 (写真倍率)高倍率モード:100~800,000倍 (写真...

電界放出型電子銃とインレンズ検出器により超低電圧でnmオーダーの高解像度を実現する走査型電子顕微鏡。

ナノ構造・材料の観察、測長も可能。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 走査型ヘリウムイオン顕微鏡(ORION Plus) 原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微...

原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性(“マトリックスコントラストがつきやすく、元素を識別したイメージングが可能)、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 飛行時間型二次イオン質量分析装置(PHI TRIFT V nanoTOF) 固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオン...

固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオンビームを使用し、空間分解能:<100nm(低質量分析時),11,000(低質料分子イオン),>15,000(高質量分子イオン)を実現。CCDTVまたはSEM像で分析位置を決定し、高質量分解能スペクトル測定、原子・分子イオンの2D分析、深さ方向分析、3D分析が可能。

物質・材料研究機構(NIMS) 材料分析ステーション(MAS) 電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F) 1.電界放出形電子銃、2.二次電子分解能:1.5nm(15kV)、3.0nm(1kV)、3.加速電圧:0.5~30kV、4.倍率:10~500,000、6.最大試料サイズ:φ100mm。①FE電子銃搭載、②4...

表面の形状観察及び元素分析

物質・材料研究機構(NIMS) 材料分析ステーション(MAS) 極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000) 1.冷陰極電界放出形電子銃、2.二次電子分解能:1.0nm(15kV)、2.0nm(1kV)、3.加速電圧:0.5~30kV、4.照射電圧:0.1~2.0kV(リターディングモード)、5.低倍率モ...

表面の形状観察