計測用装置群:E5の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
筑波大学 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC) ラザフォード後方散乱分光分析(Rutherford Backscattering Spectroscopy : RBS) 高速イオンを試料に照射し、散乱されたイオンのエネルギーを測定することで、試料を構成する元素を分析します。物質内の中重元素深さ分布評価・非破壊測定・分析可能深さ:数μm...

・異種元素分析(深さ方向分布)
・異種元素結晶格子位置決定
・格子欠陥分布決定
・表面、界面反応の解析
・非平衡物質処理過程の解析