計測用装置群:E1の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 走査型ヘリウムイオン顕微鏡(ORION Plus) 原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微...

原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性(“マトリックスコントラストがつきやすく、元素を識別したイメージングが可能)、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 走査電子顕微鏡(JEM-7000F) サーマルFEGを装備した走査電子顕微鏡(最小絞りのまま高倍率観察からEDS分析、EBSD解析が可能)。EDSシステム装備。加速電圧:0.5~30kV。試料サイズ、材質の制約が少なく、汎...

試料サイズ、材質の制約が少なく、汎用性の高い走査電子顕微鏡。EDSシステムにより、元素分析や元素マップを得ることができる。

筑波大学 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC) ラザフォード後方散乱分光分析(Rutherford Backscattering Spectroscopy : RBS) 高速イオンを試料に照射し、散乱されたイオンのエネルギーを測定することで、試料を構成する元素を分析します。物質内の中重元素深さ分布評価・非破壊測定・分析可能深さ:数μm...

・異種元素分析(深さ方向分布)
・異種元素結晶格子位置決定
・格子欠陥分布決定
・表面、界面反応の解析
・非平衡物質処理過程の解析