計測用装置群:D10の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 分光エリプソメータ この装置は、半導体やガラス基板上に成膜した薄膜の膜厚及び組成の同時測定、多層膜の膜厚測定を目的とした装置です。TFT多層膜、Low-k、High-k材料、低温P-Siなどの評価も可能...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) レーザー顕微鏡 この装置は、試料にレーザー光を当て、高さの違いにより生じる反射光量の変化から立体形状を測定します。CCDカメラで撮影した映像をテレビモニターで観察しながら測定します。視...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) コンタクトマスクアライナー(MJB4) 5種類の露光モードを持ち、サブミクロン域までの露光や高精度なアライメント露光が可能な、コンタクト方式高性能手動マスクアライナです。基板は4インチウェハまで対応し、破片...

パターン露光

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 短波長レーザー顕微鏡 観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、短波長レーザと白色光源を併用する...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 全焦点顕微鏡 本装置は、産業技術総合研究所とフォトロンの共同開発による製品です。ピント操作をすることなく、被写界深度100 μm の超深度全焦点映像による観察を行うことができます。全焦点...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500] この装置は、光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕...

観察

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 3次元測定レーザー顕微鏡 光源 405nm半導体レーザー分解能 XY:0.12um/Z:0.01um繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察...

非接触3次元形状観察・計測

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 自動エリプソメータ 測定方式 回転位相子法光源 632nm He-Neレーザービーム系 0.8mm入射角 50,60,70度試料サイズ 最大φ6インチ

絶縁膜形成評価